该厂家硅片生產过程中中造成四氟化硅（SiF₄）废水，氨水浓度约150-300mg/m³，废水中包含一少部分氟化氢（HF）和氮被金属氧化物（NOx）。 处里新工艺 ： 选用“水吸收能力+碱液中合+亲水性炭树脂吸附”工艺设备： 水吸收率塔 ：SiF₄碰到水的反应出现氟硅酸（H₂SiF₆）和HF。 碱液采和 ：NaOH饱和溶液中合含酸性类物质，转化Na₂SiF₆滤渣。 特异性炭吸附性 ：进十步除去残渣氟化物及NOx。 运动效果好 ： 处置后废水氟化物总有机废气浓度<3mg/m³，NOx<50mg/m³，满足《下垫面被污染物质总体排放口追求》（GB16297-1996）追求。 四、该行业状况与末来发展前景的趋势 当前，含氟排放物加工处理水平已相对性成长，但领域仍面对下述挑站： 低直接费用有效率技术设备供给 ：现今湿法进行处理执行费用较高，干法吸附性剂回收工艺待提升。 产品化巧用 ：如回收分类处理氟硅酸制作氟盐，进行废料资源性化。 智慧化把握 ：顺利通过一直在线污染监测与重新自动调节，延长处里设计不稳相关性性。 素，不断地环保性标趋严，含氟烟粉尘治理 将向 高效率化、低能源消耗、信息化 方问不断发展，结合新工艺（如等化合物体+催化反应氧化的）或将成為论述热点问题。 五、依据 含氟烟粉尘处置需能够 烟粉尘材质、溶液质量氧浓度进行适宜的工艺方法设备，湿法溶解选使用于高溶液质量氧浓度偏酸烟粉尘，干法吸咐更满足低溶液质量氧浓度比较复杂烟粉尘。能够 典型例子例子内见，组合成工艺方法设备能有有效率提升 彻底清除有效率，事关及格摆放。中小型企业应结合实际企业情形，进行金钱行不通的方法细则，此外瞩目市场新方法发展方向，以实行优质与金钱高效益共盈。