该晶圆种植种植商属于苏北国,核心种植85英寸半导体器件晶圆,每日产量废水排缩量上涨量约800吨。因为种植的时候中实用许多盐酸实施晶圆蚀刻,以至于产量废水内氟化物溶度更是高达200-300mg/L,远超国排缩量上涨原则(10mg/L接下来)。
电镀废水的成分及來源
废水处理方法重点来自五湖四海两个的环节:
晶圆蚀刻步骤
:含高溶液浓度氟化物(HF)、氰化钠及大量巨资属
电化学机器打蜡 (CMP)污水
:含纳米级级硅粉末、设计络合剂
产品冲洗废污水
:含异丙醇、化学需氧量等有机的物
净化处理艺流量
利用"化学式发展物中+沥青混凝土发展物中+深度的进行过滤"三级视频治理 系统软件:
一級除理
:污泥脱水氯化钙和氢空气氧化钙,养成氟化钙沉淀物中,氟化物弄掉率达85%
特殊办理
:填加PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),消除氢氧化铁态被污物
三級办理
:依据多导电介质滤水器和活性酶类炭吸附性,溢水氟化物含量安稳在8mg/L下例
至关重要机包扩:pH半自动调节器设计、斜管乳浊液池、板框带式压滤机(废水脱干)。
最终能够视觉效果
大型项目启动2年监测网数据统计显现:
氟化物分別氧浓度:7.2mg/L(大于国家地区标准规范)
COD的还原率:92%
工业废水含水量率:≤65%
年回收并氟化钙副商品约150吨,实现目标资源性化应用