某半导体器件IC芯片研制厂在晶圆激光加工流程中,操作硅烷采取硅外延性生张,烟气洗條塔存在高酸度含硅工业废水治疗做法。工业废水治疗做法都具有pH浮动大(2-11)、硅分子量高的显著特点,过去治疗做法易造成硅垢堵住难题。
生产废水化学物质及来自
工业废水重点化学成分为:
充分均匀溶解性硅酸盐
:SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L
浓盐酸/氢氧化反应钠
:洗衣机清洗剂塔酸碱平衡洗衣机清洗剂液余留
颗粒肥料硅
:微米级SiO₂橡胶胶体部分
痕量砷
:原材料其它杂物带到
办理工艺技术的流程
企业创新采取"二级中合+膜油烟净化器+化掉成果"艺:
1级采和
:用CaO调结pH至4-5,转换成硅酸钙发展,硅洗去率60%。
特殊中合
:加Na₂CO₃将pH改善至9,进一点积淀剩下的硅,串并联用镁剂除砷。
反渗透装置设计
:0.02μm瓷质膜过滤器纳米技术级硅颗粒肥料,通量稳定可靠在80LMH。
MVR化掉器
:浓缩造成高盐废水处理方法,结晶体出Na₂SO₄副物品,水造纸废水处理率超90%。
终究成果
总硅从1500mg/L低于5mg/L一些
砷含磷量从0.8mg/L减至0.01mg/L
模式无结渣使用低于2年
今年收旧盐酸钠单晶体约800吨