某光电器件手工制造工业企业因晶圆冲洗生产工艺行成含氨废水治理工艺,供水量200吨/天。废水治理工艺中除氟化物外还所含氟化物和轻微血本属,治理一定难度大。场地的排放的标准追求氟化物<5mg/L,氟化物<3mg/L。
化工废水营养成分及来源地
晶圆洁净废渣(主耍特征):含高锰酸盐指数200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工作废渣:含微量分析铜、镍等血本属,pH值起伏大
CMP粉磨生活污水:含硅顆粒及氟化物
处理新工艺步奏
运用"检查是否析出+膜分离法+折点氯化"整合加工过程:
预加工
:添加CaCl2除氟,把握pH在7.5-8.
反渗透装置系统性
:出掉0.01μm上述顆粒物
超滤法精浓
:将氧化还原电位浓缩液至1000mg/L及以上
折点氯化
:精度调控氯加药量,将氯离子转变为N2
阴阳离子互相交换
:质量保障血本属达到标准
终于结果
挥发酚稳定的<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属份量超过检测工具限
水工业废水处理率达75%
厌氧颗粒污泥生成量抑制40%