成都某半导体基带芯片基带芯片手工办理厂，晶圆办理时中带来含硅、氟的特殊性生活污水，规划办理整体规模1200吨/日。生活污水材质较为复杂，带有微米级硅颗料及盐酸，民俗办理的方式不好考核标准。 废水处理材料及来自 重点被空气污染物 ：电解质溶液硅（100-500nm比表面积）、氟亚铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 从何而来环节 ：晶圆刻蚀污生产废水 （45%）、CMP物理机诫抛光处理污生产废水 （40%）、仪器消毒水（15%） 处里生产技术步奏 改革创新适用"普通机械奠定+特殊工种膜拆分"的技术途径： 钙盐放置 ：加药系统氯化钙清除氟亚铁离子（合成CaF2凝固） 水解酸化池现象 ：组合斜板沉淀池剂达到胶体溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm钻孔大小膜截流微细粒状 反融入系统的 ：脱盐率>98%，收购率75% 蒸发器沉淀 ：浓水段保证氟化物零尾气排放 决定效用 氟化物溶液浓度：<8mg/L（小于的国家七级规定10mg/L） 硅硫含量：<5mg/L 水材料回收率：70%使用在保压塔保湿补水 垃圾回收利用：蒸馏杂质量较传统的艺极大减少60%